近日，市場監(jiān)管總局批準新建區(qū)域法表面與亞表面結(jié)構(gòu)幾何參數(shù)基準裝置，該裝置在國際上率先實現(xiàn)從二維“輪廓線”到三維“空間體”的維度提升，實現(xiàn)表界面結(jié)構(gòu)空間立體成像。

該基準裝置實現(xiàn)表界面微觀幾何形貌結(jié)構(gòu)計量能力從“盲人摸象”輪廓法躍升至“三維全景”區(qū)域法的技術(shù)跨越，開創(chuàng)亞表面結(jié)構(gòu)計量體系，填補我國三維表面形貌與亞表面結(jié)構(gòu)計量能力空白。其核心技術(shù)實現(xiàn)完全自主可控，使我國在表界面計量領(lǐng)域完成了從跟跑到領(lǐng)跑的歷史性跨越，為集成電路、高端智能裝備、航空航天、遙感探測等精密制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展夯實計量基礎(chǔ)。

超精密制造、原子級制造已成為當(dāng)前和未來一段時間制造強國建設(shè)的重要發(fā)展方向。表界面結(jié)構(gòu)幾何參數(shù)的準確評定直接關(guān)乎絕大多數(shù)制造業(yè)產(chǎn)品的質(zhì)量安全、疲勞失效等全壽命周期問題。因此國家表界面結(jié)構(gòu)計量基準與計量體系的能力水平是我國搶占全球制造業(yè)制高點的決定性因素之一。

該基準裝置不僅實現(xiàn)了傳統(tǒng)表面粗糙度參數(shù)迭代更新至區(qū)域法三維表面形貌參數(shù)，還將測量維度從表面形貌拓展至表面下130微米范圍內(nèi)的亞表面區(qū)域微觀幾何結(jié)構(gòu)，達到國際領(lǐng)先水平。一次測量即可同時獲得表界面立體空間的微觀形貌和結(jié)構(gòu)信息，猶如在長白山天池水域內(nèi)，同時精準獲取水面漣漪與水中魚群乃至水底地貌。